リモートセンサー式清浄度集中監視システム
デジタル出力タイプ
REMOTE 5104
デジタル出力タイプ（RS-485）
特徴
・0.5μｍ＠1.0CFM（28.3LPM）
・標準2粒径同時計測（オプション4粒径）
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 3104
デジタル出力タイプ（RS-485）
特徴
・0.3μｍ＠1.0CFM（28.3LPM）
・標準2粒径同時計測（オプション4粒径）
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 5014
デジタル出力タイプ（RS-485）
特徴
・0.5μｍ＠0.1CFM（2.83LPM）
・標準2粒径同時計測（オプション4粒径）
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 3014
デジタル出力タイプ（RS-485）
特徴
・0.3μｍ＠0.1CFM（2.83LPM）
・標準2粒径同時計測（オプション4粒径）
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
アナログ出力タイプ
REMOTE 5102
アナログ出力タイプ（4-20mA）
特徴
・0.5μｍ＠1.0CFM（28.3LPM）
・2粒径同時計測
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 3102
アナログ出力タイプ（4-20mA）
特徴
・0.3μｍ＠1.0CFM（28.3LPM）
・2粒径同時計測
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 5012
アナログ出力タイプ（4-20mA）
特徴
・0.5μｍ＠0.1CFM（2.83LPM）
・2粒径同時計測
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
REMOTE 3012
アナログ出力タイプ（4-20mA）
特徴
・0.3μｍ＠0.1CFM（2.83LPM）
・2粒径同時計測
・コンパクトなデザインで最小限のスペースで設置可能
・外部真空源利用
仕様
