ケンブリッジ・ファンフィルタユニット

Cambridge Fan Filter Unit

用途

製造装置、検査機器に応じた寸法と能力で設計します。
内蔵フィルタは、ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、オフガス対策ケミカル搭載等、ニーズに応じた設計をします。
操作はタッチパネル採用で簡単です。
風量調整は１００段階切り替えで微細調整が可能です。

仕様・オプション